苏州联讯仪器申请竖向晶圆搬运设备,改善晶圆的位置精度:仪器设备

金融界2025年1月8日消息,国家知识信息显示,苏州联讯仪器股份有限公司申请一项名为“竖向晶圆搬运设备”的,公开号CN 119252778 A,申请日期为2024年1月仪器设备

摘要显示,本发明公开一种竖向晶圆搬运设备,包括:安装于一活动支架上的基板、安装于基板上表面的前载板、后载板和设置于基板下方的基座,所述基座一端的下方设置有一调节电机,该调节电机的输出轴竖直延伸至基座上方并与设置于前载板与后载板之间的转盘连接,所述转盘内开设有一腔体,用于与晶圆的下表面搭接接触的转盘的上表面开设有若干个各自与腔体连通的真空吸附孔,所述基座另一端的上表面并位于转盘的外侧安装有至少一个传感器仪器设备。本发明既可以实现对晶圆的接驳、位置转移以及对晶圆位置的自动检测识别并调节,改善晶圆的位置精度,还可以有效避免晶圆随转盘转动过程中产生额外的位置偏移,进一步保证经过角度调节后晶圆的位置精度。

天眼查资料显示,苏州联讯仪器股份有限公司,成立于2017年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业仪器设备。企业注册资本7700万人民币,实缴资本7700万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州联讯仪器股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目98次,知识产权方面有商标信息17条,信息404条,此外企业还拥有行政许可24个。

来源:金融界

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